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計(jì)量論壇

標(biāo)題: 基于激光干涉儀與自準(zhǔn)直儀的平面鏡輪廓高精度測(cè)量技術(shù) [打印本頁]
作者: text    時(shí)間: 2014-4-24 22:42
標(biāo)題: 基于激光干涉儀與自準(zhǔn)直儀的平面鏡輪廓高精度測(cè)量技術(shù)
作　　者：楊平[1] 朱睿[1] 郭隱彪[1] 高增潔[2]
機(jī)構(gòu)地區(qū)：[1]廈門大學(xué)物理與機(jī)電工程學(xué)院,廈門361005 [2]東京大學(xué)精密工學(xué)系東京1138656,日本
摘　　要：基于三組激光干涉光路與一臺(tái)自準(zhǔn)直儀的光學(xué)掃描檢測(cè)方法,開發(fā)可用于大尺寸平面鏡二維輪廓的高精度測(cè)量技術(shù)。通過聯(lián)立線性方程式與最小二乘法結(jié)合的計(jì)算算法,可得到平面鏡二維輪廓的測(cè)量結(jié)果及整個(gè)測(cè)量過程的不確定度值。利用建模仿真整個(gè)測(cè)量過程,分析不同采樣點(diǎn)數(shù)N下不確定度數(shù)值的變化趨勢(shì)。此外,搭建基于高精度三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x平臺(tái)上的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng),試驗(yàn)果表明該技術(shù)成功實(shí)現(xiàn)對(duì)100 mm平面鏡二維輪廓的測(cè)量,并可實(shí)現(xiàn)重復(fù)性測(cè)量精度在±20 nm范圍內(nèi)。通過與Zygo白光干涉系統(tǒng)結(jié)果的比較,該檢測(cè)技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的測(cè)量精度。

基于激光干涉儀與自準(zhǔn)直儀的平面鏡輪廓高精度測(cè)量技術(shù).rar

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