近日，中科院電工所聯(lián)合中國計量科學(xué)院、國家納米科學(xué)技術(shù)中心共同研制成功國內(nèi)首套可溯源計量型掃描電子顯微鏡。
中科院電工所在高分辨力場發(fā)射掃描電子顯微鏡的基礎(chǔ)上，加裝激光干涉儀測距的納米級高精度位移臺, 并提出了采用步進掃描代替?zhèn)鹘y(tǒng)電子束掃描的圖像獲取新方法。該方法可直接關(guān)聯(lián)圖像掃描與激光干涉儀的位置測量，實現(xiàn)對樣品納米結(jié)構(gòu)掃描成像的量值溯源，有效減少電子束掃描成像過程中放大倍率波動和掃描線圈非線性特征在納米尺度測量中產(chǎn)生的誤差，從而實現(xiàn)對樣品納米結(jié)構(gòu)的溯源測量。
相關(guān)專家表示，該設(shè)備的研制成功，將對我國納米尺度計量標(biāo)準(zhǔn)的制定、掃描電子顯微鏡及其他納米尺寸測量儀器的校準(zhǔn)、納米標(biāo)樣和標(biāo)物的校準(zhǔn)、參與國際長度比對等起到重要作用。中國科學(xué)報
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