技術(shù)參數(shù)：
1、被測(cè)件最大長度：150 mm
2、工作臺(tái)行程：5 mm
3、測(cè)桿移動(dòng)范圍：0.5mm
4、分劃板刻度范圍：±50格
5、直接測(cè)量范圍：5-20μm
6、分度值調(diào)整范圍：0.05-0.2 μm
7、推薦使用分度值：0.1 μm
8、測(cè)量壓力：(1.5±0.1) N
9、儀器示值穩(wěn)定性：0.02 μm
10、儀器誤差：±（0.03+1.5ni △λ/λ）um
n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長，△λ是濾光片波長誤差
11、儀器體積：280×500×700 mm
12、儀器重量：40 kg