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計量論壇

標題: 三維表面粗糙度參數(shù)Sa的前世今生 [打印本頁]

作者: 中圖儀器 時間: 2018-7-27 11:29
標題: 三維表面粗糙度參數(shù)Sa的前世今生
傳統(tǒng)的粗糙度評定為二維參數(shù)評定，評定的時候在一條線上進行評定，不能夠完整地反映整個表面的全部信息，越來越不能滿足加工行業(yè)的發(fā)展需要。表面形貌的三維評定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關信息，給出表面形成機理信息和研究表面的直觀圖像，三維評定從整體上對零件表面特征進行描述，具有全局性。
　　三維表面粗糙度參數(shù)有很多，今天介紹第一個參數(shù)Sa。
定義：
　　Sa為表面算術平均高度，指輪廓表面內的點與中心面距離的算術平均或幾何平均值，在取樣區(qū)域 D 上，被測量的輪廓面和建立的基準面之間的 z 坐標距離的算術平均，即表面粗糙度曲面方程 z 坐標絕對值的算術平均。數(shù)學表達式為

應用：
　　Sa常用來描述精密加工表面粗糙度，可以有效地檢測整個區(qū)域的高度特征以便控制加工工藝的制定。對不同的加工工藝方法，其Sa值變化明顯。

晶圓表面粗糙度評定，數(shù)據由中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀測量得出

歷史：
　　2005 年，在ISO/TC213的最新標準草案ISO/TC213N756中對表面三維表征參數(shù)進行了詳細分類，主要分為功能參數(shù)、幅度參數(shù)、空間參數(shù)、綜合參數(shù)、體積參數(shù)共5大類23個參數(shù)，在幅度參數(shù)中就包括Sa。

　　2012年4月1日，國際標準化組織正式頒布《ISO 25178-2-2012 產品幾何量技術規(guī)范(GPS)--表面結構：區(qū)域--第2部分：術語、定義和表面結構參數(shù)》，對Sa進行了確認。

作者: wujiuniu 時間: 2018-8-10 17:16
維表面粗糙度參數(shù)Sa用什么儀器來測量？

作者: 中圖儀器 時間: 2018-8-13 16:09

wujiuniu 發(fā)表于 2018-8-10 17:16
維表面粗糙度參數(shù)Sa用什么儀器來測量？

三維輪廓儀/原子力顯微鏡/共聚焦顯微鏡都可以測

作者: zhangyang988 時間: 2019-2-27 16:56
GB/T 33523.2-2017 產品幾何技術規(guī)范（GPS）表面結構區(qū)域法第2部分：術語、定義及表面結構參數(shù)（idt ISO 25178-2:2012），這個標準里規(guī)定了三維的參數(shù)，包括三維粗糙度。

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