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| GFS 通用技術規范 | |
| 供電要求 | |
| 天平 | 100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 27 W。功耗 |
| LCM | 100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 40 W。功耗 |
| MFC-CB | 85 V 至 264 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 36 W。功耗 |
| 工作溫度范圍 | 15 到 25°C |
| 濕度范圍 | 5 到 70% RH（非凝結） |
| 重量 | |
| 花崗石表面（含支架） | 大約 320 kg (700 lb) |
| 系統其余部分 | 大約 70 kg (150 lb) |
| 尺寸 | |
| 花崗石表面（含支架）外圍 | 150 cm 高 x 90 cm 寬 x 60 cm 深 (58 in. x 36 in. x 24 in.) |
| LCM | 8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) |
| MFC-CB | 8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) |
| GFS-FS | 20 cm 高 x 41.4 cm 寬 x 20 cm 深 (7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.) |
| 支持的氣體 | 氮氣 (N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、六氟化硫 (SF6)、氙氣 (Xe) |
| 流量測量范圍 | 至少： |
| He、H2 | 100 sccm 到 10 slm |
| 所有其他氣體 | 10 sccm 到 10 slm |
| 壓力連接件 封殼的出口流量路徑 | 1/8” Swagelok 管裝置或等效裝置，使用 1/4” Swagelok 管裝置或等效裝置的適配器 |
| 參考氣體套筒壓力極限 | 20 MPa (3000 psi) |
| CE 認證證書 | 提供，必須指定 |
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