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標題: YS/T 26-1992硅片邊緣輪廓檢驗方法 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-6-14 10:49
標題: YS/T 26-1992硅片邊緣輪廓檢驗方法
【 標準編號 】 YS/T 26-1992
【 標準名稱 】 硅片邊緣輪廓檢驗方法  
【 發布單位 】 CSIC-YS
【 批準單位 】 中國有色金屬工業總公司
【 發布日期 】 1992-3-9
【 實施日期 】 1993-1-1
【 開本頁數 】 3P
【 采用關系 】 ASTM F 928-85,EQV
【 起草單位 】 洛陽單晶硅廠

硅片邊緣輪廓檢驗方法.pdf

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