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標題: GB/T 16945-1997 電子工業用氣體 氬 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-12-11 19:58
標題: GB/T 16945-1997 電子工業用氣體 氬
【 標準編號 】 GB/T 16945-1997
【 標準名稱 】 電子工業用氣體 氬  
【 英文名稱 】 Gases for electronic industry—Argon
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1997-8-13
【 實施日期 】 1998-5-1
【 開本頁數 】 4P
【 引用標準 】 GB/T 4842-1995; GB/T 5832.1-86; GB/T 5832.2-86; GB/T 6285-86; GB/T 8984.1-1997; GB/T 8984.3-1997; GB 14193-1993; JB/TQ 503-86; JB/T 6897-93; JB/T 6898-93
【 采用關系 】 EQV SEMI C3.46-93
【 起草單位 】 化學工業部西南化工研究院; 上海BOC氣體工業有限公司; 武鋼氧氣廠; 洛陽單晶硅廠
【 起 草 人 】 顏伯舉; 王少楠

bz001012777.pdf

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