咨詢金相顯微鏡的校準(zhǔn)方法

公司有一臺(tái)上海產(chǎn)的金相顯微鏡，主要用來測試產(chǎn)品的鍍層厚度，厚度大約都在2UM-35UM之間，現(xiàn)在有一個(gè)光學(xué)校正板（就是一個(gè)板上有一些小圓孔，分別是0.1mm,0.25mm,0.5mm,0.75mm)領(lǐng)導(dǎo)讓用這個(gè)東西校顯微鏡（校正板是校過的）我測試出來一些數(shù)值，就是不知道該如何叛斷是不是合格，

0.1mm	0.1mm
0.25mm	0.25mm
0.5mm	0.52mm
0.75mm	0.775mm
標(biāo)稱值	測得值

計(jì)量院校正光學(xué)校正板的結(jié)果

標(biāo)稱直徑	校準(zhǔn)結(jié)果
0.75mm	0.748mm
0.5mm	0.499mm

結(jié)果不確定度U=0.003mm,K=2

你看鍍層厚度時(shí)，看的是剖面吧？

金相顯微鏡不是計(jì)量儀器，應(yīng)該沒有計(jì)量意義上的“校準(zhǔn)”可做。最多也就是用您所說的光學(xué)校正板校正一下倍率精度，或者說是單一像素的尺寸。

金相顯微鏡的物鏡是有畸變的，即視場內(nèi)各點(diǎn)的倍率是不一樣的；CCD各像素之間也并非沒有誤差。
到現(xiàn)在為止，還沒有那家公司是進(jìn)行逐一像素校正的。

對(duì)，看的是剖面，這個(gè)是不是應(yīng)該校對(duì)物鏡就可以了，物鏡是自己校對(duì)還是送計(jì)量院？

要校正的是觀測倍率，該倍率不僅與物鏡有關(guān)，還與放大光路中的其它部分有關(guān)，這里面也包含了從CCD靶面到顯示窗上的放大。
物鏡不用送計(jì)量院，就算送過去也沒有用。因?yàn)椋?br /> 物鏡的各種象差，尤其是畸變，對(duì)測量精度是有影響的，現(xiàn)在沒有人能夠在視場內(nèi)，把各點(diǎn)，即各個(gè)位置的畸變都給修正了，CCD像素當(dāng)量尺寸校正也只做一個(gè)像素的，而實(shí)際上顯示窗內(nèi)的每個(gè)像素尺寸是有細(xì)微區(qū)別的，這一區(qū)別也會(huì)影響到你的測量精度。
目前，國外最好的做法，就是盡可能地控制整個(gè)放大系統(tǒng)，尤其是物鏡的象差，特別是物鏡的畸變。當(dāng)象差對(duì)測量精度的影響降到現(xiàn)在人們可以忽略的程度時(shí)，我們就可以暫時(shí)不去考慮它的影響了。實(shí)際上有很多半路出家制作光學(xué)量儀的公司，由于在這方面不專業(yè)，自己不能去控制這類指標(biāo)，所以自己也就不提此事，也不去管它了。
再次重申：金相顯微鏡在概念上，不屬于任何計(jì)量儀器，所以我認(rèn)為它不需要做任何計(jì)量意義的送檢。
當(dāng)然，如果你們領(lǐng)導(dǎo)要把它當(dāng)作量儀來對(duì)待，那我也沒有辦法。那樣的話，只好請(qǐng)你自己跟計(jì)量部門溝通，看他們?nèi)绾文軌驖M足你們領(lǐng)導(dǎo)的要求了。

朋友，你確實(shí)很專業(yè)，你說講的這些我目前還不是很懂，因?yàn)橐恍I(yè)述語，我需要多讀幾編。不過你最后一席話，我想他確實(shí)很重要。

不必客氣。
光學(xué)很難的，我也學(xué)得不好，只知道成象誤差一共有兩種色差、五種象差，加在一起是七種色象差，其中畸變屬于象差的一種，它從視場中央往外是呈三次冪增長的，對(duì)精密尺寸測量影響大，且很不容易消除。
另外再提一點(diǎn)，就個(gè)人經(jīng)驗(yàn)來說，一般金相物鏡畸變所引入的倍率變差，通常都＞1%，即每mm偏差10um以上。但不知這種量級(jí)的誤差你們公司是否可以承受，而漠視不理。
既然，視場內(nèi)各點(diǎn)的倍率不同，那么校正板上的被測圓在視場內(nèi)擺放的位置不同，測得值也必然不同，因此光看1樓的那張表不能說明多少問題。當(dāng)然，如果測量精度要求很低，那就無所謂了。

可以根據(jù)JJG(教委)012-1996金相顯微鏡檢定規(guī)程,主要是物鏡實(shí)際放大倍數(shù)檢定。方法：將0.01mm分刻度板放置在載物臺(tái)上，又將待檢的物鏡裝轉(zhuǎn)到工作位置，把0.1mm分刻度目鏡測微尺插入光路中，然后對(duì)0.01mm分刻度板聚焦觀察0.1mm分刻度的格數(shù)與0.1mm分刻度多少格相重合，通過計(jì)算，得物鏡實(shí)際放大
倍數(shù)
    M＝  目鏡分刻度格數(shù)×0.1/物鏡分刻度格數(shù)×0.01

7樓的朋友：

視場內(nèi)各點(diǎn)的倍率是不同的，所以用你介紹的方法得到的倍數(shù)M，只有參考意義。這和樓主想了解的問題，恐怕是兩碼事。

學(xué)習(xí)，正好有臺(tái)金相顯微鏡，還不知道怎么校對(duì)。