高精度雙測(cè)頭量塊比較儀的研究

摘要：研制了一種新型高精度量塊比較儀,該比較儀采用上、下雙電感測(cè)頭進(jìn)行測(cè)量.給出了比較儀的總體結(jié)構(gòu),系統(tǒng)采用數(shù)字濾波算法對(duì)電感測(cè)微儀的隨機(jī)誤差進(jìn)行處理,在±20μm測(cè)量量程內(nèi),對(duì)比較儀進(jìn)行了精確標(biāo)定,編制了測(cè)量控制軟件.并對(duì)該量塊比較儀進(jìn)行了重復(fù)性和示值誤差測(cè)試.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明其示值誤差δ≤±(0.02+0.002L)μm.
作者：         張旭東     劉香斌     吳月艷

作者單位：         中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院,北京,100013

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相互學(xué)習(xí) 共同進(jìn)步

劍客 發(fā)表于 2013-7-8 09:57
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我覺(jué)得接觸式干涉儀比較方便

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fobyellow 發(fā)表于 2023-12-11 13:27
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