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[線紋] 大范圍納米測量機

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八一八 發(fā)表于 2024-8-22 14:14:00 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
實驗室認可領(lǐng)域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 大范圍納米測量機
英文名稱: Millimeter measurement range metrological nano geometric structure standard device
型號規(guī)格:
測量范圍: 10mm
等級:
分辨率:
技術(shù)指標(biāo): 2nm~20nm
生產(chǎn)廠家: -
描述: 1) 位移臺采用了“氣浮-滑動混合位移臺”的設(shè)計,保證了三維大范圍運動時的平穩(wěn)性,在垂直方向上無微振動,并且全行程內(nèi)角擺誤差減小到極小值;
2) 測頭裝置突破了商品化原子力顯微鏡測頭采用的管狀掃描器的局限,使用三維納米位移臺驅(qū)動,實現(xiàn)了正交、閉環(huán)掃描,使得測頭量值可溯源;
3) 在干涉測量系統(tǒng)中,自研了光學(xué) 8 倍程激光干涉儀,提出了“諧波分離修正法”并已申請國家專利。最終毫米級裝置具備了量值可溯源、大行程范圍以及測頭可實現(xiàn)三維正交掃描的特點。
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