掃描電鏡線性失真度校準

請教大家一個問題，掃描電鏡校準校準規(guī)范里線性失真度是用10微米二維柵格板，規(guī)定了在1000倍的倍率下測量，實際在這個倍率下測量柵格的X和Y方向誤差手動誤差比較大，個人建議應該在2000倍以上的倍率，或者用更大的柵格測量比較合理，這樣可以減少人為測量誤差。

只能說明這個機器的軟件不行

個人認為可以選取客戶常用的倍數下進行該項目的校準，但應在證書中說明。在校準規(guī)范的標準器選取中，該項目的倍數是一個范圍。

有些廠商的圖像像素分辨力較差，其1000倍數下，測量手動誤差確實比較大，但所選取的柵格比較大，換算成百分比之后該值一般并不大，對于＜10%的技術指標一般很容易合格。檢過的日立，菲希爾，蔡司極少超過2%的，國產的有些受現場環(huán)境影響和本身像素能力等因素，測出來5%。 感覺這個項目，從某些方面看出來儀器的內在能力