基于雙頻激光干涉的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量不確定度檢定系統(tǒng)

作者：  祝連慶, 北京機(jī)械工業(yè)學(xué)院,北京,100085; 陳青山, 北京機(jī)械工業(yè)學(xué)院,北京,100085; 董明利, 北京機(jī)械工業(yè)學(xué)院,北京,100085; 張舒, 北京機(jī)械工業(yè)學(xué)院,北京,100085   
   會(huì)議名稱(chēng)：  中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)第八屆青年學(xué)術(shù)會(huì)議   
   會(huì)議時(shí)間：  20060728   
   會(huì)議地點(diǎn)：  大連   
  主辦單位：  中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)  
         摘要：  本文分析了現(xiàn)有坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度檢定的方法,設(shè)計(jì)了基于雙頻激光干涉儀為測(cè)量基準(zhǔn)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量不確定度檢定系統(tǒng),給出了檢定過(guò)程中測(cè)量數(shù)據(jù)的處理方法和測(cè)量不確定度的表達(dá)式.該系統(tǒng)利用高精度的直線(xiàn)靜導(dǎo)軌和動(dòng)導(dǎo)軌的組合可快速方便地實(shí)現(xiàn)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)單軸和測(cè)量空間內(nèi)測(cè)量不確定度的檢定.