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SJ/T 31120-94KSM—MJB3型掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)完好要求和檢查

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woshi_tjy 發(fā)表于 2008-7-24 12:48:50 | 只看該作者 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 SJ/T 31120-94
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 KSM—MJB3型掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)完好要求和檢查評(píng)定方法  
【 發(fā)布單位 】 CSIC-SJ
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1994-4-15
【 實(shí)施日期 】 1994-6-1
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 3P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 11481-89
【 起草單位 】 機(jī)電部第13所
【 起 草 人 】 薛中堂

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