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SJ/T 10311-92低壓化學氣相淀積設備通用技術條件

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woshi_tjy 發表于 2008-7-31 09:18:35 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ/T 10311-92
【 標準名稱 】 低壓化學氣相淀積設備通用技術條件  
【 英文名稱 】 Generic specification of low Pressure Chemical vapor Deposition system
【 發布單位 】 中華人民共和國機械電子工業部
【 發布日期 】 1992-6-15
【 實施日期 】 1992-12-1
【 開本頁數 】 11P
【 引用標準 】 SJ 2065; SJ 142; SJ 946; GB 191; GB 6388
【 起草單位 】 國營建中機器廠
【 起 草 人 】 王學忠; 劉映光

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