2m比長儀納米級(jí)高精度刻線自動(dòng)瞄準(zhǔn)系統(tǒng)

摘要：闡述了2m比長儀刻線瞄準(zhǔn)系統(tǒng)的組成,對(duì)其光電顯微刻線成像的原理及刻線圖像信號(hào)進(jìn)行了分析,根據(jù)其刻線信號(hào)的特點(diǎn),研究了其高精度的刻線信號(hào)自動(dòng)處理系統(tǒng),該系統(tǒng)基于FPGA現(xiàn)場可編程電路技術(shù),實(shí)現(xiàn)刻線信號(hào)的自動(dòng)門控觸發(fā)、自動(dòng)濾除虛假刻線信號(hào),配合計(jì)算機(jī)信號(hào)自動(dòng)處理軟件可以實(shí)現(xiàn)刻線測量的高精度自動(dòng)瞄準(zhǔn).最后對(duì)2m比長儀的瞄準(zhǔn)精度進(jìn)行了測試實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,測量金屬標(biāo)準(zhǔn)線紋尺時(shí),2m比長儀單次測量刻線瞄準(zhǔn)精度優(yōu)于10nm(1σ).
作者：         葉孝佑[1]     高宏堂[1]     鄒鄰丁[1]     張曉[2]     甘曉川[1]     孫雙花[1]     常海濤[3]     沈雪萍[1]     陳黎云[1]
作者單位：        
中國計(jì)量科學(xué)研究院,北京,100013
浙江計(jì)量科學(xué)研究院,浙江,杭州,310013
北京航空航天大學(xué),北京,100191