微機(jī)械式高精度陀螺儀

日本住友精密工業(yè)公司和宇宙航空研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)（JAXA：Japan Aerospace Exploration Agency）共同開(kāi)發(fā)了用于國(guó)產(chǎn)火箭H2A的微機(jī)械（MEMS：Micro Electro Mechanical systems）式高精度陀螺儀。陀螺儀是用于監(jiān)測(cè)火箭及衛(wèi)星等航空、航天器航行位置的重要設(shè)備，新型微機(jī)械式陀螺儀通過(guò)微電子機(jī)械技術(shù)的應(yīng)用，精度比原有的微機(jī)械式陀螺儀提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到了0.1°∕h。
    目前，陀螺儀已廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)和數(shù)碼相機(jī)等民用電子產(chǎn)品。在航空、航天器上則至少需要安裝一臺(tái)陀螺儀，使用激光作為光源的光學(xué)式陀螺儀是現(xiàn)行的主流設(shè)備。但光學(xué)陀螺儀存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、技術(shù)要求高、耗電量大、成本高等缺陷，而機(jī)械式陀螺儀由于精度較低，不滿足航空、航天器的需要。
    日本住友精密工業(yè)公司對(duì)本公司精度最高的MEMS陀螺儀進(jìn)行了改良，將溫度特性校正方式由模擬改為數(shù)字以提高校正精度，并改善了傳感頭的材料和結(jié)構(gòu)。通過(guò)改進(jìn)，陀螺儀的組成部件減少了一半，同時(shí)減輕了重量。之前在H2A火箭上搭載的光學(xué)式陀螺儀由玻璃和激光器件構(gòu)成，新型微機(jī)械式產(chǎn)品在精度不變的情況下，價(jià)格是光學(xué)式陀螺儀的百分之一（約為幾十萬(wàn)日元）。