248 nm紫外顯微鏡微納線寬校準(zhǔn)方法的研究

李琪1,李偉1,施玉書1,高思田1,李適1,王鶴群1,尹傳祥1,2
1.中國計量科學(xué)研究院, 北京 100029；
2.合肥工業(yè)大學(xué) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院,  安徽 合肥 230009

摘要 248 nm波長照明的紫外顯微鏡能夠獲得高達80 nm的光學(xué)分辨率,可以實現(xiàn)對掩模板的線寬和一維/二維柵格參數(shù)的測量。作為測量儀器的248 nm紫外顯微鏡需要對其進行校準(zhǔn)。該顯微鏡測量范圍在nm量級,校準(zhǔn)使用400 nm一維柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),通過對儀器不確定度和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)自身不確定度的評估,得到采集圖像每個像素的擴展不確定度為0.178 nm,并給出了實際測量時的不確定度評價公式。