超精密光學(xué)鏡片三維表面形貌參數(shù)評(píng)定方法研究

吳乙萬(wàn)1,任志英1,高誠(chéng)輝1,林建興1,江偉2
1.福州大學(xué) 機(jī)械工程及自動(dòng)化學(xué)院, 福建 福州 350116
2.福建省福光股份有限公司, 福建 福州 350004
摘要 分析了當(dāng)前超精密光學(xué)鏡片表面評(píng)定方法及其存在的不足,提出引用ISO 25178-2中規(guī)范的部分表面3D參數(shù)來(lái)表征精密光學(xué)鏡片三維表面,找出光學(xué)鏡片表面形貌與對(duì)應(yīng)的光學(xué)性能存在的關(guān)系,并實(shí)現(xiàn)ISO對(duì)超精密光學(xué)鏡片三維表面的評(píng)定。仿真實(shí)驗(yàn)表明:當(dāng)光學(xué)鏡片表面的高度服從高斯分布時(shí),其評(píng)價(jià)光學(xué)系統(tǒng)性能的傳遞函數(shù)隨著均方值的減小而增大。用實(shí)例說(shuō)明ISO的部分三維參數(shù)對(duì)光學(xué)鏡片三維表面可以很好地區(qū)分,利用新的綜合評(píng)價(jià)方法評(píng)定光學(xué)鏡片表面形貌具有一定的可行性。