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[線紋] 激光干涉儀

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兌水 發(fā)表于 2025-2-17 15:23:16 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可領(lǐng)域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 激光干涉儀
英文名稱:
型號(hào)規(guī)格: XL-80
測(cè)量范圍:
等級(jí):
分辨率:
技術(shù)指標(biāo): -
生產(chǎn)廠家: renishaw
描述: 激光穩(wěn)頻精度通過熱控制技術(shù)將激光管的長(zhǎng)度變化控制在幾納米的范圍內(nèi)，使精度在3年內(nèi)保持在±0.05 ppm（百萬分之一）。
線性測(cè)量精度在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi)，即在0 oC - 40 oC（32 oF - 104 oF）和650 mbar - 1150 mbar的范圍內(nèi)，精度為±0.5 ppm。XL-80能夠以高達(dá)50 kHZ的頻率讀取數(shù)據(jù)，最高線性測(cè)量速度可達(dá)到4 m/s，即使在最高速度下線性分辨率仍可達(dá)到1 nm。
集成式USB意味著激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無需單獨(dú)的接口。
LED狀態(tài)指示燈位于激光頭前部，可顯示激光狀態(tài)和信號(hào)強(qiáng)度，相當(dāng)于將軟件屏幕上的“狀態(tài)顯示”功能擴(kuò)展到激光頭上。
靈活切換標(biāo)準(zhǔn) (40 m) 和長(zhǎng) (80 m) 距離模式。
模擬I/O端口允許傳輸模擬信號(hào)輸出和觸發(fā)信號(hào)輸入。
預(yù)熱時(shí)間少于6分鐘。
外接開關(guān)電源允許輸入電壓在90V - 264 V之間變化。
CARTO軟件包可以進(jìn)行線性、角度、回轉(zhuǎn)軸、直線度和垂直度測(cè)量。但其他測(cè)量模式則需要使用LaserXL軟件。
相關(guān)文檔:  
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn): JJG 739 激光干涉儀
本帖最后由 兌水 于 2025-2-17 15:29 編輯

規(guī)格
量程
范圍
測(cè)量精度
分辨率
線性測(cè)量
0 m – 80 m

±0.5ppm
0.001μm
角度測(cè)量
0 m – 15 m
±175 mm/m
±0.002A±0.5±0.1M微弧度
±0.0002A±0.5±0.1M微弧度*
0.1μm/m
直線度測(cè)量
0.1  m – 4.0 m*
1 m – 30 m
±2.5  mm
±0.005A±0.5±0.15M2μm
±0.025A±5±0.015M2μm
0.01μm
0.1μm
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量
25轉(zhuǎn)

±5μm/m
平面度測(cè)量
0 m – 15 m
±1.5 mm
±0.002A±0.02 M2μm
0.01μm
垂直度測(cè)量
±3/M mm/m

±0.005A±2.5±0.8 M微弧度
±0.025A±2.5±0.08 M微弧度
0.01μm/m

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