GB/T 14851-1993 電子工業(yè)用氣體 磷化氫

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 14851-1993
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子工業(yè)用氣體 磷化氫  
【 英文名稱 】 Gas for electronic industry—Phosphine
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-12-30
【 實施日期 】 1994-10-1
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開本頁數(shù) 】 11P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 190; GB 4845; GB 5099; GB 5274; GB 5832.1; GB 7144; GB 7445; GB 8980; GB 9721
【 采用關(guān)系 】 C3 STD.6-88; C3 STD.7-88
【 起草單位 】 化學(xué)工業(yè)部光明化工研究所
【 起 草 人 】 呂多俊