現(xiàn)代精密量儀現(xiàn)狀及水平

現(xiàn)代精密量儀現(xiàn)狀及水平

1 引言

當(dāng)今信息技術(shù)已經(jīng)成為推動科學(xué)技術(shù)和國民經(jīng)濟(jì)高速發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。如何用先進(jìn)的信息技術(shù)來提升、改造我國的傳統(tǒng)制造業(yè)，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力跨越式發(fā)展的戰(zhàn)略結(jié)構(gòu)調(diào)整，是裝備制造業(yè)面臨的一項(xiàng)緊迫任務(wù)。著名科學(xué)家錢學(xué)森先生曾指出：“信息技術(shù)包括測量技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)和通訊技術(shù)。測量技術(shù)是關(guān)鍵和基礎(chǔ)。”采用適度先進(jìn)的信息化數(shù)字測量技術(shù)和產(chǎn)品來迅速提升裝備制造業(yè)水平，是當(dāng)前一個(gè)重要的發(fā)展方向。國內(nèi)外許多著名量儀量具制造廠商在近年來的CIMT展覽會上展示了他們所取得的部分科研成果，所展現(xiàn)的現(xiàn)代測量技術(shù)發(fā)展趨勢和面向市場與用戶、服務(wù)于加工制造現(xiàn)場、測量與加工制造過程融合集成的新動向，值得我們高度重視和密切關(guān)注。

2 國內(nèi)外測量儀器和量具展品的發(fā)展趨勢

2．1數(shù)字化測量技術(shù)

數(shù)字化測量技術(shù)是數(shù)字化制造技術(shù)的一個(gè)重要的、不可或缺的組成部分；數(shù)字化測量儀器、數(shù)字化量具產(chǎn)品的不斷豐富和發(fā)展，適合并滿足了生產(chǎn)現(xiàn)場不斷提高的使用要求。

（1） 多種數(shù)顯量具——防水?dāng)?shù)顯卡尺: 日本三豐、瑞士TESA及我國深圳UMP等公司開發(fā)的防水?dāng)?shù)顯卡尺達(dá)到防水等級IP65；各種數(shù)顯百分表、千分表、數(shù)顯內(nèi)徑表等，并帶有測量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)處理功能及打印輸出。


（2） CNC齒輪測量中心——德國Klingelnberg公司、美國M&；M及Mahr公司的齒輪測量中心，其儀器的測量不確定度可達(dá)2微米，可檢測各種齒輪類零件及各種齒輪刀具；國內(nèi)哈量和精達(dá)開發(fā)的齒輪測量中心，在精度和測量速度方面已經(jīng)接近或達(dá)到國外水平，但在儀器的精度保持性、穩(wěn)定性、尤其是在軟件測量功能方面還有待進(jìn)一步提高。

（3） CCD數(shù)字式對刀儀——Zoller、Kelch等公司CCD數(shù)字式對刀儀系列產(chǎn)品測量過程全自動化，具有刀具管理數(shù)據(jù)庫，能與多臺數(shù)控機(jī)床通訊，自動實(shí)現(xiàn)機(jī)床加工位置參數(shù)信息的閉環(huán)反饋。

（4） 三坐標(biāo)測量機(jī)——三坐標(biāo)測量機(jī)是數(shù)字化測量儀器的精典產(chǎn)品。國內(nèi)市場的主要供應(yīng)商有海克斯康青島（原名B&；S前哨）、ZEISS、Mahr、LK、西安愛德華、303所、上量等企業(yè)。三坐標(biāo)測量技術(shù)在采用工程陶瓷、磁力封閉新材料、新結(jié)構(gòu)方面多有進(jìn)展。多測頭的集成，擴(kuò)大了儀器測量功能；多功能、高精度、多坐標(biāo)綜合測量儀，打破了傳統(tǒng)量儀的格局；一臺儀器一次裝卡可完成工件多種幾何參數(shù)的檢測，提高了測量精度和效率。

?？怂箍登鄭u小型數(shù)控測量機(jī) Mahr多坐標(biāo)多功能綜合測量儀

2.2測量技術(shù)與制造系統(tǒng)的集成

將現(xiàn)代測量技術(shù)及儀器融合、集成于先進(jìn)制造系統(tǒng)，從而構(gòu)建成完備的先進(jìn)閉環(huán)制造系統(tǒng)，為“零廢品”制造奠定了基礎(chǔ)。

（1）圓柱齒輪/錐齒輪閉環(huán)制造系統(tǒng)——格里森公司及克林格貝爾公司，采用先進(jìn)的齒輪測量中心及相應(yīng)的齒輪測量軟件，與CNC齒輪加工機(jī)床相連，實(shí)現(xiàn)了圓柱齒輪、弧錐齒輪的CAD/CAM/CAI的閉環(huán)制造。


（2）復(fù)雜數(shù)控刀具閉環(huán)制造系統(tǒng)——Walter公司生產(chǎn)的Helicheck刀具萬能測量儀，可實(shí)現(xiàn)數(shù)控刀具的自動化、非接觸式測量。通過OTC刀具在線補(bǔ)償系統(tǒng)，與Helitronic數(shù)控刀具磨床實(shí)現(xiàn)在線連接；將實(shí)測值和設(shè)計(jì)值進(jìn)行比較后，實(shí)時(shí)修正機(jī)床磨削參數(shù)，確保了復(fù)雜型面數(shù)控刀具的加工質(zhì)量。

(3) 剃齒刀閉環(huán)制造系統(tǒng)——日本大阪精機(jī)將齒輪測量儀器和剃齒刀磨床通過計(jì)算機(jī)聯(lián)系起來，構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)的剃齒刀磨齒系統(tǒng)：將初磨后測量的結(jié)果和剃齒刀數(shù)據(jù)庫中的參數(shù)進(jìn)行比較，再對磨齒機(jī)加工參數(shù)進(jìn)行修正，從而保證精磨合格。

2.3在線在機(jī)測量技術(shù)

在線在機(jī)測量技術(shù)以及工位量儀、主動量儀是大批量生產(chǎn)時(shí)保證加工質(zhì)量的重要手段。計(jì)量型儀器進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場、融入生產(chǎn)線，監(jiān)控生產(chǎn)過程。對儀器的高可靠性、高效率、高精度以及質(zhì)量統(tǒng)計(jì)功能、故障診斷功能提出了新的要求，而近年來開發(fā)的各種在線在機(jī)測量儀器滿足了這些要求。

（1）三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)入汽車大型覆蓋件生產(chǎn)線——美國Brown &； Sharp公司的Bravo-NT測量機(jī)可在汽車生產(chǎn)線上對車身尺寸實(shí)施在線測量并充分滿足汽車生產(chǎn)線對測量節(jié)拍、測量精度和測量可靠性的要求。


(2) 大齒輪/成型齒輪磨齒機(jī)的機(jī)載齒輪測量裝置——德國Kapp公司磨齒機(jī)的機(jī)載齒輪測量裝置是一個(gè)典型事例。測量系統(tǒng)和機(jī)床集成一體，可在工件試磨后馬上進(jìn)行在機(jī)檢測，測量信息處理后能反饋至機(jī)床，及時(shí)修正加工參數(shù)。特別有利于大型、重型齒輪和大批量齒輪的成形磨削加工。


（3）汽車齒輪在線測量分選機(jī)——美國ITW公司展出的齒輪在線自動分選機(jī)（見圖12）。該儀器作為一種改型的齒輪雙面嚙合在線檢測分選機(jī)，具有特殊的二維齒向測量機(jī)構(gòu)，除了測量齒輪徑向綜合偏差、齒厚、加工毛刺及磕碰缺陷以外，還能測量雙嚙齒向偏差和雙嚙齒向錐度偏差等齒輪誤差，能滿足對批量生產(chǎn)汽車齒輪100%的在線檢測和自動分選的要求。


（4）火車車輪（熱鍛及冷加工）在線檢測系統(tǒng)——合肥工業(yè)大學(xué)為馬鞍山鋼鐵公司開發(fā)的火車車輪（熱鍛及冷加工）在線檢測系統(tǒng)填補(bǔ)了國內(nèi)空白，滿足了對熱鍛車輪毛坯和精車車輪輪廓形狀和幾何尺寸精度的100%的質(zhì)量監(jiān)測。

2.4大尺寸、復(fù)雜幾何型面輪廓測量技術(shù)及儀器、反求工程測量技術(shù)及儀器的發(fā)展

（1）可移動、多關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測量機(jī)，便于現(xiàn)場使用——Poli、Fardarm公司的多關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測量機(jī)，采用了高精度光柵和內(nèi)置平衡系統(tǒng)，且?guī)в袦囟妊a(bǔ)償，精度可達(dá)±0.025mm/1.2m球；加拿大EAGLE精密技術(shù)公司的EPT TMS-100彎管測量系統(tǒng)，具有接觸式和紅外非接觸式兩種測頭，以及與數(shù)控彎管機(jī)全兼容的零件庫和誤差校正信息庫，可與數(shù)控彎管機(jī)集成為一個(gè)完整的、信息融通的閉環(huán)彎管制造系統(tǒng)，特別適用于航空發(fā)動機(jī)制造業(yè)。


（2）視覺測量技術(shù)和測量系統(tǒng)應(yīng)用廣泛——天津大學(xué)開發(fā)的汽車大型覆蓋件在線測量系統(tǒng)。采用兩臺或多臺高精度經(jīng)緯儀和專用基準(zhǔn)精密靶標(biāo)進(jìn)行測量儀器的現(xiàn)場精度校準(zhǔn)，精度高、速度快，得到用戶一汽大眾等的好評。該項(xiàng)目榮獲了國家科技進(jìn)步二等獎。復(fù)雜形面焊接件、沖壓件模具或工件幾何尺寸的CCD視覺檢查儀器，近年來在國內(nèi)外得到了迅速的發(fā)展。


(3) 激光跟蹤測量儀——API的6維激光測量系統(tǒng)、Leize公司的激光跟蹤測量儀，帶有紅外激光絕對長度測量（ADM）系統(tǒng)，可用于大尺寸復(fù)雜形面輪廓的測量。


2.5激光測量技術(shù)和儀器

隨著激光測量技術(shù)的發(fā)展，納米分辨率激光干涉測量系統(tǒng)在超精測量和超精加工機(jī)床上得到廣泛應(yīng)用。

(1) 英國Renishaw公司展出的金牌M10激光干涉測量系統(tǒng)，配備了靈敏度和精度更高的溫度、氣壓、濕度傳感器和金牌EC10環(huán)境補(bǔ)償裝置，提高了測量精度，其穩(wěn)頻精度可達(dá)±0.05ppm,線性測量精度±0.7ppm，分辨率可達(dá)1納米，是激光測量技術(shù)發(fā)展的典型代表。

(2) 德國SIOS的小型激光干涉儀系列產(chǎn)品，有微型平面干涉儀、激光干涉測頭等，可以和用戶多種測量系統(tǒng)結(jié)合，據(jù)稱特別適用于完成各種小尺寸范圍的納米測量任務(wù)。



2.6微、納米級高精度傳感器

傳感器向小型化、微、納米級精度發(fā)展，生產(chǎn)現(xiàn)場適應(yīng)性更強(qiáng)，精度更高。

(1) 北京標(biāo)普及HEIDENHAIN的納米光柵技術(shù)和納米光柵數(shù)字式位移傳感器系列產(chǎn)品，將光柵傳感器的精度和分辨率提高了一個(gè)等級。標(biāo)普的光柵納米傳感技術(shù)，解決了納米光柵的工作原理、納米光柵的制造技術(shù)、納米光柵信號的讀取技術(shù)和信號細(xì)分技術(shù)以及納米機(jī)械的制造等四大難題，取得了自主知識產(chǎn)權(quán)，并已經(jīng)轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力，其測量系統(tǒng)的精度在100毫米上小于±20納米。產(chǎn)品除在國內(nèi)市場銷售外，還遠(yuǎn)銷國外。北京珍寶智能機(jī)器技術(shù)公司的智能化電感頻變式比較儀的示值變動性不大于0.003微米，示值誤差不大于±（0.003+0.005A）微米（式中A為示值），已為國內(nèi)多家塊規(guī)制造廠所采用。


(2) 三坐標(biāo)機(jī)測頭向高精度、小型化的發(fā)展：RENISHAW的SP80超高精度數(shù)字式掃描測頭，分辨率為0.02微米；ZEISS的VAST三維6向掃描測頭系統(tǒng)，采用平行簧片機(jī)構(gòu)，分辨率為0.05微米，掃描范圍達(dá)2毫米。Werth的光纖測頭，半徑僅為12.5微米，號稱世界最小，適用于超細(xì)、超精密工件的測量。


2.7測量軟件功能的增強(qiáng)和擴(kuò)展

(1) 測量軟件已從“被動”的測量數(shù)據(jù)處理和單個(gè)產(chǎn)品質(zhì)量評定，發(fā)展為“主動”的生產(chǎn)過程加工質(zhì)量的監(jiān)控和故障診斷，SPC得到普遍應(yīng)用；測量儀器精度補(bǔ)償軟件和加工機(jī)床參數(shù)反饋調(diào)整軟件的開發(fā)，為實(shí)現(xiàn)“零廢品”制造提供了技術(shù)支撐；

(2) 相同或不同類型多傳感器海量測量數(shù)據(jù)的集成融合技術(shù)，大大提高了反求工程的制造質(zhì)量并縮短了開發(fā)周期：華中科技大學(xué)的復(fù)雜形狀零件的測量、集成建模和面向制造的設(shè)計(jì)軟件的開發(fā)成功大大擴(kuò)展了軟件的功能；

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