GB/T 13843-92藍(lán)寶石單晶拋光襯底片

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 13843-92
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 藍(lán)寶石單晶拋光襯底片  
【 英文名稱 】 Polished monocrystalline sapphire substrates
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1992-12-28
【 實(shí)施日期 】 1993-8-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 1556; GB 6618; GB 6619; GB 6621; GB 6624; GB 1031; GB 2828
【 采用關(guān)系 】 SEMI M3-1983,REF
【 起草單位 】 天津半導(dǎo)體技術(shù)研究所
【 起 草 人 】 孫家龍; 陳顗; 張玲; 紫玉琦