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GB/T 14143-1993 硅片間隙氧含量紅外吸收測量方法

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jinyibu 發(fā)表于 2009-1-16 12:16:19 | 只看該作者回帖獎勵

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【標(biāo)準(zhǔn)編號】 GB/T 14143-1993
【標(biāo)準(zhǔn)名稱】 300-900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測量方法
【英文名稱】 300-900μm Silicon slices-Measuring of interstitial oxygen content-Infrared absorption method
【發(fā)布單位】 SBTS
【批準(zhǔn)單位】國家技術(shù)監(jiān)督局
【發(fā)布日期】 1993-2-6
【實施日期】 1993-10-1
【所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【開本頁數(shù) 】 4P
【采用關(guān)系】 ASTM F121-1983,REF

含量, 測量方法, 硅片, 紅外吸收, 間隙

bz001011213.pdf

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