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SJ/T 31116-94PLA-501F型光刻機完好要求和檢查評定方法

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woshi_tjy 發表于 2008-7-24 16:34:22 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 SJ/T 31116-94
【 標準名稱 】 PLA-501F型光刻機完好要求和檢查評定方法  
【 發布單位 】 CSIC-SJ
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1994-4-15
【 實施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數 】 2P
【 起草單位 】 中國華晶電子集團公司; 國營南光機器廠
【 起 草 人 】 王浩清; 華一新; 顧軍建; 吳正偉; 王洪波

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