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GB/T 14142-1993 硅外延層晶體完整性檢驗方法腐蝕法

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jinyibu 發表于 2009-1-16 12:18:27 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 GB/T 14142-93
【 標準名稱 】 硅外延層晶體完整性檢驗方法腐蝕法  
【 英文名稱 】 Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon by etching techniques
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 6P
【 采用關系 】 ASTM F80-1985,REF
【 起草單位 】 峨嵋半導體材料研究所
【 起 草 人 】 趙慶貴; 吳毅

BZ002025190.pdf

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